硅碳CVD、乙炔包覆回转炉
专业用于硅碳负极CVD气相沉积工艺。。。。。。。
选件:
产品特点
1、烧结周期短:动态烧结方式,,,,,,,,热传导速度快,,,,,,,,大大缩短烧结周期,,,,,,,,相对能耗优于其他炉型;;;;;;;
2、物料品质均匀:物料在炉内的活动状态为动态的前进和翻转,,,,,,,,受热均匀,,,,,,,,确保了物料充分烧结,,,,,,,,物料品质一致性好;;;;;;;
3、单机产能可扩产:较大单机产能,,,,,,,,且易于实现规模放大,,,,,,,,单台设备产能可达5-200kg/批,,,,,,,,且有实现陆续化出产的可能;;;;;;;
4、安全系数高:炉内微正压,,,,,,,,排气结构单一,,,,,,,,可有效泄压,,,,,,,,安全机能相对较高。。。。。。。
产品详情
| 额定温度 | 控温精度 | 烧结空气 | 出产方式 | 单次处置量 |
| 600℃ | ±1℃ | 氮气,硅烷,乙炔 | 间歇式、陆续式 | 5-200kg/批 |
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